Ausrüstung zur Solarzellen-Herstellung:
Plasma-Ätzanlagen, Verdampfung Zellen, Sputtern Zellen, PECVD Zellen, LPCVD Solarzell
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
PVD (Physikalische Abscheidung aus der Dampfphase) Dünnschichtmodule, Verdampfung Dünnschichtmodule, PECVD Dünnschichtmodule, LPCVD Dünnschichtmodule, Plasma-Ätzanlagen für Dünnschichtmodule