Art der Ausrüstung
Ausrüstung zur Herstellung von Ingot-Blöcken:
Prüfer für Widerstandsfähigkeit
Ausrüstung für Wafer-Herstellung:
Prüfer für Widerstandsfähigkeit
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
Optisches Inspektionssystem für Dünnschichtmodule, Dickenmessung von Dünnschichtmodulen