Ausrüstung zur Solarzellen-Herstellung:
Plasma-Ätzanlagen, PECVD Zellen
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
Optisches Inspektionssystem für Dünnschichtmodule, Materialeigenschaften für Module, Dickenmessung von Dünnschichtmodulen, PECVD Dünnschichtmodule, Plasma-Ätzanlagen für Dünnschichtmodule