Art der Ausrüstung
Ausrüstung für Wafer-Herstellung:
Waferpoliereinheit
Ausrüstung zur Solarzellen-Herstellung:
Plasma-Ätzanlagen, Diffusionsofen, PECVD Zellen, Anti-Reflexions-Beschichtung Zellen
Ausrüstung zur kristallinen Modul-Herstellung:
Schlüsselfertige Produktionslinien für Module
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
PECVD Dünnschichtmodule