Art der Ausrüstung
Ausrüstung für Wafer-Herstellung:
Waferpoliereinheit
Ausrüstung zur Solarzellen-Herstellung:
Ausrüstung für Ätzprozess, Texturanlage, Nassätzanlagen, PECVD Zellen, PVD (Physikalische Abscheidung aus der Dampfphase) Zellen
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
PVD (Physikalische Abscheidung aus der Dampfphase) Dünnschichtmodule, Verdampfung Dünnschichtmodule, Nassätzanlagen für Dünnschichtmodule