Art der Ausrüstung
Fertigungsmaschinen für Dünnschichtmodule:
Anti-Reflexions-Beschichtung Dünnschichtmodule, PVD (Physikalische Abscheidung aus der Dampfphase) Dünnschichtmodule, Verdampfung Dünnschichtmodule, Sputtern Dünnschichtmodule, CVD (Chemische Dampfphasenabscheidung) Dünnschichtmodule